Substrate Crosstalk Suppression Using Wafer-Level Packaging: Metalized Through-Substrate Trench Approach Saoer Maniur SINAGA Substrate Crosstalk Suppression Using Wafer-Level Packaging Technique: Metalized Through-Substrate Trench Approach PROEFSCHRIFT ter verkrijging van de graad van doctor aan de Technische Universiteit Delft, op gezag van de Rector Magni¯cus Prof. ir. K. Ch. A. M. Luyben, voorzitter van het College voor Promoties, in het openbaar te verdedigen op woensdag 6 oktober 2010 om 10.00 uur door Saoer Maniur SINAGA Master of Science in Communication Engineering, UniversitÄatKassel, geboren te Medan, IndonesiÄe. Dit proefschrift is goedgekeurd door de promotor: Prof. dr. J. N. Burghartz Samenstelling promotiecommissie: Rector Magni¯cus, voorzitter Prof. dr. J. N. Burghartz, Technische Universiteit Delft, promotor Dr. M. Bartek, Technische Universiteit Delft, co-promotor Prof. dr. P. M. Sarro, Technische Universiteit Delft Prof. dr. P. J. French, Technische Universiteit Delft Prof. dr. E. Charbon, Technische Universiteit Delft Prof. dr. ir. M. K. Smit, Technische Universiteit Eindhoven Dr. S. Wane, NXP Semiconductors Prof. dr. K. A. A. Makinwa, Technische Universiteit Delft, reservelid Copyright °c 2010 by S.M. Sinaga All rights reserved. No part of the material protected by this copyright notice may be reproduced or utilized in any form or by any means, electronic or mechanical, including photocopying, recording or by any information storage and retrieval system, without the prior permission of the author. ISBN 978-90-8570-600-7 Author email:
[email protected] Surely goodness and mercy shall follow me all the days of my life; and I will dwell in the house of the Lord forever (Psalm 23:6).