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Impression De Silicium Par Procédé Jet D'encre

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Impression De Silicium Par Procédé Jet D'encre Impression de silicium par proc´ed´ejet d'encre : des nanoparticules aux couches minces fonctionnelles pour applications photovolta¨ıques Etienne Drahi To cite this version: Etienne Drahi. Impression de silicium par proc´ed´ejet d'encre : des nanoparticules aux couches minces fonctionnelles pour applications photovolta¨ıques. Autre. Ecole Nationale Sup´erieure des Mines de Saint-Etienne, 2013. Fran¸cais. <NNT : 2013EMSE0685>. <tel-00849862> HAL Id: tel-00849862 https://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00849862 Submitted on 1 Aug 2013 HAL is a multi-disciplinary open access L'archive ouverte pluridisciplinaire HAL, est archive for the deposit and dissemination of sci- destin´eeau d´ep^otet `ala diffusion de documents entific research documents, whether they are pub- scientifiques de niveau recherche, publi´esou non, lished or not. The documents may come from ´emanant des ´etablissements d'enseignement et de teaching and research institutions in France or recherche fran¸caisou ´etrangers,des laboratoires abroad, or from public or private research centers. publics ou priv´es. NNT : 2013 EMSE 0685 THÈSE présentée par Etienne DRAHI pour obtenir le grade de Docteur de l’École Nationale Supérieure des Mines de Saint-Étienne Spécialité : Microélectronique IMPRESSION DE SILICIUM PAR PROCÉDÉ JET D’ENCRE : DES NANOPARTICULES AUX COUCHES MINCES FONCTIONNELLES POUR APPLICATIONS PHOTOVOLTAÏQUES soutenue à Gardanne, le 21 mars 2013 Membres du jury Président : Rapporteurs : Jean-Paul GARANDET Directeur de Recherche, CEA-INES, Le Bourget-du-Lac Michel RIBES Professeur, Université de Montpellier II, Montpellier Examinateurs : Christophe DETAVERNIER Professeur, Ghent University, Ghent (Belgique) Yann LECONTE Chercheur, CEA Saclay, Gif-sur-Yvette Directeur de thèse : Patrick BENABEN Professeur, ENSM-SE, Gardanne Co-encadrant : Sylvain BLAYAC Maître Assistant, ENSM-SE, Gardanne Invités : Sébastien SAUNIER Chargé de recherche, ENSM-SE, Saint-Étienne Gilles DENNLER Chef du Département Énergie et Environnement, IMRA Europe (AISIN SEIKI/TOYOTA Group), Sophia-Antipolis Spécialités doctorales : Responsables : SCIENCES ET GENIE DES MATERIAUX K. Wolski Directeur de recherche MECANIQUE ET INGENIERIE S. Drapier, professeur GENIE DES PROCEDES F. Gruy, Maître de recherche SCIENCES DE LA TERRE B. Guy, Directeur de recherche SCIENCES ET GENIE DE L’ENVIRONNEMENT D. Graillot, Directeur de recherche MATHEMATIQUES APPLIQUEES O. Roustant, Maître-assistant INFORMATIQUE O. Boissier, Professeur IMAGE, VISION, SIGNAL JC. Pinoli, Professeur GENIE INDUSTRIEL A. Dolgui, Professeur MICROELECTRONIQUE S. Dauzere Peres, Professeur EMSE : Enseignants-chercheurs et chercheurs autorisés à diriger des thèses de doctorat (titulaires d’un doctorat d’État ou d’une HDR) AVRIL Stéphane PR2 Mécanique et ingénierie CIS BATTON-HUBERT Mireille PR2 Sciences et génie de l'environnement FAYOL BENABEN Patrick PR1 Sciences et génie des matériaux CMP BERNACHE-ASSOLLANT Didier PR0 Génie des Procédés CIS BIGOT Jean Pierre MR(DR2) Génie des Procédés SPIN BILAL Essaid DR Sciences de la Terre SPIN BOISSIER Olivier PR1 Informatique FAYOL BORBELY Andras MR(DR2) Sciences et génie de l'environnement SMS BOUCHER Xavier PR2 Génie Industriel FAYOL BRODHAG Christian DR Sciences et génie de l'environnement FAYOL BURLAT Patrick PR2 Génie Industriel FAYOL COURNIL Michel PR0 Génie des Procédés DIR DARRIEULAT Michel IGM Sciences et génie des matériaux SMS DAUZERE-PERES Stéphane PR1 Génie Industriel CMP DEBAYLE Johan CR Image Vision Signal CIS DELAFOSSE David PR1 Sciences et génie des matériaux SMS DESRAYAUD Christophe PR2 Mécanique et ingénierie SMS DOLGUI Alexandre PR0 Génie Industriel FAYOL DRAPIER Sylvain PR1 Mécanique et ingénierie SMS FEILLET Dominique PR2 Génie Industriel CMP FOREST Bernard PR1 Sciences et génie des matériaux CIS FORMISYN Pascal PR0 Sciences et génie de l'environnement DIR FRACZKIEWICZ Anna DR Sciences et génie des matériaux SMS GARCIA Daniel MR(DR2) Génie des Procédés SPIN GERINGER Jean MA(MDC) Sciences et génie des matériaux CIS GIRARDOT Jean-jacques MR(DR2) Informatique FAYOL GOEURIOT Dominique DR Sciences et génie des matériaux SMS GRAILLOT Didier DR Sciences et génie de l'environnement SPIN GROSSEAU Philippe DR Génie des Procédés SPIN GRUY Frédéric PR1 Génie des Procédés SPIN GUY Bernard DR Sciences de la Terre SPIN GUYONNET René DR Génie des Procédés SPIN HAN Woo-Suck CR Mécanique et ingénierie SMS HERRI Jean Michel PR1 Génie des Procédés SPIN INAL Karim PR2 Microélectronique CMP KERMOUCHE Guillaume PR2 Mécanique et Ingénierie SMS KLOCKER Helmut DR Sciences et génie des matériaux SMS LAFOREST Valérie MR(DR2) Sciences et génie de l'environnement FAYOL LERICHE Rodolphe CR Mécanique et ingénierie FAYOL LI Jean Michel Microélectronique CMP MALLIARAS Georges PR1 Microélectronique CMP MOLIMARD Jérôme PR2 Mécanique et ingénierie CIS MONTHEILLET Franck DR Sciences et génie des matériaux SMS PERIER-CAMBY Laurent PR2 Génie des Procédés DFG PIJOLAT Christophe PR0 Génie des Procédés SPIN PIJOLAT Michèle PR1 Génie des Procédés SPIN PINOLI Jean Charles PR0 Image Vision Signal CIS POURCHEZ Jérémy CR Génie des Procédés CIS ROUSTANT Olivier MA(MDC) FAYOL STOLARZ Jacques CR Sciences et génie des matériaux SMS SZAFNICKI Konrad MR(DR2) Sciences et génie de l'environnement CMP TRIA Assia Microélectronique CMP VALDIVIESO François MA(MDC) Sciences et génie des matériaux SMS VIRICELLE Jean Paul MR(DR2) Génie des Procédés SPIN WOLSKI Krzystof DR Sciences et génie des matériaux SMS XIE Xiaolan PR1 Informatique CIS ENISE : Enseignants-chercheurs et chercheurs autorisés à diriger des thèses de doctorat (titulaires d’un doctorat d’État ou d’une HDR) BERGHEAU Jean-Michel PU Mécanique et Ingénierie ENISE BERTRAND Philippe MCF Génie des procédés ENISE DUBUJET Philippe PU Mécanique et Ingénierie ENISE FORTUNIER Roland PR Sciences et Génie des matériaux ENISE GUSSAROV Andrey Andrey Enseignant contractuel Génie des procédés ENISE HAMDI Hédi MCF Mécanique et Ingénierie ENISE LYONNET Patrick PU Mécanique et Ingénierie ENISE RECH Joël MCF Mécanique et Ingénierie ENISE SMUROV Igor PU Mécanique et Ingénierie ENISE TOSCANO Rosario MCF Mécanique et Ingénierie ENISE ZAHOUANI Hassan PU Mécanique et Ingénierie ENISE PR 0 Professeur classe exceptionnelle Ing. Ingénieur SMS Sciences des Matériaux et des Structures PR 1 Professeur 1ère classe MCF Maître de conférences SPIN Sciences des Processus Industriels et Naturels PR 2 Professeur 2ème classe MR (DR2) Maître de recherche FAYOL Institut Henri Fayol PU Professeur des Universités CR Chargé de recherche CMP Centre de Microélectronique de Provence MA (MDC) Maître assistant EC Enseignant-chercheur CIS Centre Ingénierie et Santé DR Directeur de recherche IGM Ingénieur général des mines Mise à jour : 07/01/2013 : jour à Mise A Clément, A François « L’âge de pierre ne s’est pas terminé faute de pierres, mais parce que des techniques concurrentes, plus performantes et mieux adaptées aux besoins de nos lointains ancêtres, sont arrivées à maturité. Il en va de même pour les énergies fossiles. » Manifeste négaWatt Avant-propos et remerciements Avant-propos et remerciements près avoir commencé ce travail et cette tranche de vie il y a environ 3 ans et demi, il convient maintenant de clore ce chapitre du livre. Alors que ces mots sont les A derniers à être écrits, ils sont souvent les premiers à être lus et sont donc porteurs d’un sens tout particulier. Il convient de les soigner tout spécialement et le doute de retranscrire fidèlement les émotions apparaît alors. Au moment de coucher les derniers mots de ce qui restera une belle aventure de par ses protagonistes, certaines paroles de Cyrano de Bergerac d’Edmond Rostand me viennent à l’esprit. Tâchons de soigner la sortie sans se laisser aller à la mélancolie comme Roxane et Cyrano le disent si bien dans la pièce éponyme lors de cet échange final: CYRANO : « Les feuilles ! ROXANE, levant la tête, et regardant au loin, dans les allées : Elles sont d'un blond vénitien. Regardez−les tomber. CYRANO : Comme elles tombent bien ! Dans ce trajet si court de la branche à la terre, Comme elles savent mettre une beauté dernière, Et malgré leur terreur de pourrir sur le sol, Veulent que cette chute ait la grâce d'un vol ! » Cyrano de Bergerac – Edmond Rostand (1897) Tout d’abord je tiens à remercier les membres du jury pour l’intérêt qu’ils ont porté à ce travail de thèse et lors de la soutenance. Commençons tout d’abord par le Pr. Christophe Detavernier que je tiens à remercier pour avoir accepté de me faire l’honneur de présider mon jury de thèse, il a été parfait dans le rôle de maître de séance, mais aussi de nous avoir permis de travailler en collaboration avec lui durant une longue période. Sans son accord et les moyens qu’il a mis à disposition les résultats de diffraction par rayons X in situ n’auraient pu être obtenus. Merci donc à lui et à son doctorant Boris Capon qui a réalisé les expériences. Je tiens ensuite à remercier les rapporteurs de ce travail de thèse : le Pr. Michel Ribes et le Dr. Jean-Paul Garandet. Ils ont eu la fastidieuse tâche de dépouiller ce long manuscrit (désolé de ne pas avoir pu faire plus court) et de commenter ce travail ainsi que d’en relever les erreurs et surtout de soulever des discussions. Je tiens particulièrement à remercier Jean-Paul v Garandet pour le temps et la minutie qu’il a pris afin de commenter chaque résultat et ainsi rendre plus complet ce manuscrit. Maintenant vient le tour du Dr. Yann Leconte. Notre rencontre fortuite à la conférence EMRS en 2011 a pu jeter les bases d’une première collaboration. Merci de nous avoir fourni aussi gentiment des nanoparticules de silicium de grande qualité. J’espère que ce travail de thèse sera été l’occasion de jeter les bases de collaborations futures. Merci au Dr. Gilles Dennler d’avoir accepté d’évaluer ce manuscrit et pour les remarques précieuses d’un chercheur dans l’industrie autour de ce travail. Finalement je tiens à donner au Dr. Sébastien Saunier toutes mes preuves d’amitié et le remercier fortement pour m’avoir accepté si souvent et pour de si longues périodes à Saint Etienne sur sa plate-forme pour les expériences de recuit microondes mais aussi pour les longues discussions autour du résultat des expériences.
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