Vysoké Učení Technické V Brně Dielektrické
VYSOKÉ UČENÍ TECHNICKÉ V BRNĚ BRNO UNIVERSITY OF TECHNOLOGY FAKULTA ELEKTROTECHNIKY A KOMUNIKAČNÍCH TECHNOLOGIÍ ÚSTAV FYZIKY FACULTY OF ELECTRICAL ENGINEERING AND COMMUNICATION DEPARTMENT OF PHYSICS DIELEKTRICKÉ VLASTNOSTI TENKÝCH VRSTEV OXIDŮ TANTALU A NIOBU DIELECTRIC PROPERTIES OF THIN TANTALUM AND NIOBIUM OXIDE LAYERS ZKRÁCENÁ VERZE DOKTORSKÉ PRÁCE SHORT VERSION OF DOCTORAL THESIS AUTHOR Ing. INAS ABUETWIRAT AUTOR PRÁCE SUPERVISOR Assoc. Prof. Ing. KAREL LIEDERMANN, Ph.D, MEng. VEDOUCÍ PRÁCE BRNO 2014 ABUETWIRAT, I. Dielectric properties of thin tantalum and niobium oxide layer. Brno: Brno University of Technology, Faculty of Electrical Engineering and Communication, 2014, 32 p., Research Advisor: Karel Liedermann, PhD, MEng, Assoc. Prof. © Inas Abuetwirat, 2014 KLÍČOVÁ SLOVA Dielektrická spektroskopie, dielektrická relaxace, dielektrická spektra, elektrická vodivost, oxid tantalu, oxid niobu. KEYWORDS Dielectric spectroscopy, dielectric relaxation, dielectric spectra, electrical conductivity, tantalum oxide, niobium oxide. Depository of the manuscript: Department of Science and Research, Dean’s Office, FEEC BUT Brno, Technická 10, 616 Brno. Contents 1. INTRODUCTION............................................................................................................. 1 2. MATERIAL UNDER STUDY......................................................................................... 2 2.1. Tantalum pent-oxide (Ta2O5) ...................................................................................... 2 2.2. Niobium pent-oxide
[Show full text]