SOLUTIONS NIKON METROLOGY

INSPECTION RAYONS X ET PAR TOMOGRAPHIE NUMERIQUE

SCANNING LASER MMT

SCANNING LASER PORTABLE

MACHINES A MESURER TRIDIMENSIONNELLES

LOGICIELS DE METROLOGIE

METROLOGIE GRANDS VOLUMES

METROLOGIE ROBOTISÉE

SYSTEMES DE MESURE PAR VIDEO

MICROSCOPES DE MESURE

MICROSCOPES INDUSTRIELS

SERVICE DE MÉTROLOGIE

NIKON METROLOGY I VISION BEYOND PRECISION LES SOLUTIONS NIKON METROLOGY

INSPECTION RAYONS X ET PAR  INSTRUMENTS DE MESURE 4 TOMOGRAPHIE NUMERIQUE 24 iNEXIV VMA, systéme d’imagerie numérique à grande vitesse Sources rayons X Série NEXIV VMZ système de mesure par vidéo Séries XT H, systèmes industriels de Tomographie Numérique Séries MM, microscopes de mesure Systèmes rayons X et Tomographie Numérique configurables Projecteurs de profil Séries MCT, métrologie par Tomographie Numérique Digimicro, systèmes numériques de mesure de longueur Séries XT V, contrôle de l’électronique par rayons X Autocollimateurs Automatisation par Tomographie Numérique

MICROSCOPES INDUSTRIELS METROLOGIE MULTI-CAPTEURS 30 13 Microscopes Stéréoscopiques Logiciel de métrologie CMM-Manager Séries IM, microscopes industriels Machines à mesurer tridimensionnelles Microscope interférométrique à lumière blanche BW-séries Scanner portable ModelMaker NeoScope microscope électronique à balayage MCAx – Bras poly-articulé Logiciels de mesure Logiciel de nuage de points FOCUS Logiciel de métrologie CMM-Manager Intégration de logiciels tiers SERVICE ET ASSISTANCE 35

PRODUCTION ASSISTEE PAR LA 21 METROLOGIE / METROLOGIE ROBOTISEE

Inspection grands volumes avec le Laser Radar Inspection automatisée en ligne

NIKON METROLOGY I VISION BEYOND PRECISION

2 INSPECTION RAYONS X ET PAR TOMOGRAPHIE NUMERIQUE

C’est une véritable plongée au coeur de la structure interne, qui permet de fournir une image de l’intérieur des composants électroniques et des pièces industrielles. On utilise ensuite les capacités de la Tomographie Numérique pour qualifier et quantifier les dimensions intérieures et extérieures, au cours d’un processus doux et non-destructif.

SOURCES RAYONS X

TOMOGRAPHIE INDUSTRIELLE : XT 225 / 225 ST

TOMOGRAPHIE INDUSTRIELLE : XT H 320

SCANNING GRANDE PUISSANCE PAR TOMOGRAPHIE : XT H 450

SYSTEMES DE TOMOGRAPHIE NUMERIQUE AVEC GRANDE CABINE

METROLOGIE PAR TOMOGRAPHIE NUMERIQUE : MCT225

INSPECTION DE COMPOSANTS ELECTRONIQUES PAR RAYONS X : XT V 130C / XT V 160

AUTOMATISATON PAR TOMOGRAPHIE NUMERIQUE

3 SOURCES RAYONS X

Conçues et fabriquées en interne Les sources rayons X de Nikon Metrology sont au cœur de notre technologie. Nous les concevons et nous les fabriquons nous-mêmes depuis 1987, ce qui fait qu’à ce jour nous offrons plus de 30 années de notre savoir-faire. Au coeur de l’image, le contrôle de la technologie de la source rayons X permet à Nikon Metrology de réagir rapidement au marché et de développer des solutions complètes et innovantes afin de répondre aux exigences des applications. Toutes les sources sont à tube ouvert et ont donc un faible coût d’usage. La plage de puissance va de la plus basse (180) à la moyenne (225) à la plus haute (450) kV, toutes présentant une résolution au micron.

Cible à transmission de 180 kV Utilisable pour les échantillons inférieurs à 10 mm, comme les petites carottes de roche ou les os, la cible à transmission fonctionne jusqu’à 180 kV afin d’atteindre une taille focale minimale de 1 μm,aboutissant à une grande résolution en Tomographie Numérique.

Cible à réflexion de 225 kV Avec une puissance atteignant 225 kV et une taille focale minimale de 3 microns, la source microfocus 225 kV est le cœur de la gamme XT H 225 de Nikon, apportant la flexibilité nécessaire pour s’adapter aux différentes dimensions et densités rencontrées.

Cible rotative de 225 kV Nikon Metrology est la seule entreprise à produire une source microfocus Source 450 kV, statique ou 225 kV industrielle à cible tournante . Grâce à la cible tournante, le haute brillance. faisceau d’électrons frappe une surface mobile, et non fixe, permettant un meilleur refroidissement. C’est ce qui offre l’opportunité de mesurer plus C’est la seule source 450 kV microfocus du vite les objets, ou de mesurer des objets plus denses avec une meilleure monde à offrir des performances de niveau précision qu’avec le 225 kV standard. industriel pour les petites pièces de fonderie très denses ou les pièces de fonderies de taille moyenne à grande. Source 320 kV La source 320 kV est la seule source microfocus pour les échantillons trop La source 450 kV de grande puissance grands ou trop denses pour la source 225 kV, tout en maintenant une délivre une puissance de 450 W en continu, petite taille focale. Idéale pour les carottes de roche et les petites pièces sans limitation du temps de mesure, tout en de fonderie, cette source est en option dans l’offre XT H 320. conservant la plus petite taille de point pour un scanning plus rapide par Tomographie Numérique. Elle permet de collecter des Cible multi-métaux données en allant jusqu’à 5 fois plus vite ou En général il est bénéfique d’utiliser un spectre d’émission rayons avec une meilleure précision que la 450 kV X à faible énergie pour l’analyse de certains matériaux et cela standard, avec une durée de scan semblable. peut être effectué avec une cible multi-métaux. En plus de la cible standard en tungstène (W), l’opérateur peut facilement choisir pami trois autres matériaux de cible: argent (Ag), molybdène (Mo) et cuivre (Cu). 4 INSPECTION RAYONS X ET PAR TOMOGRAPHIE NUMERIQUE XT H 225 / 225 ST ENTREZ DANS LE MONDE DE LA TOMOGRAPHIE NUMERIQUE PAR RAYONS X

Le contrôle qualité, l’analyse des ruptures et la recherche sur les matériaux, dans plusieurs industries, exigent très souvent de capturer et de mesurer, de façon détaillée, les formes géométriques internes et les assemblages.

Les systèmes d’entrée de gamme XTH 225 sont équipés d’une source rayons x microfocus qui offre une haute résolution d’image.

Le XT H 225 ST est une version améliorée pouvant recevoir des échantillons plus grands ou plus lourds, avec un choix de sources rayons X allant de la cible à transmission 180 kV à la cible rotative 225 kV à flux élevé. Elles couvrent une large gamme d’applications, y compris l’inspection des pièces en plastique, des petites pièces de fonderie et des mécanismes complexes, mais aussi la recherche des matériaux et les spécimens naturels. Caractéristiques • Choix entre différentes sources microfocus par rayons X, brevetées - 180 kV cible à transmission - 225 kV cible à réflexion Avantages - En option : cible rotative (ST uniquement) • Flexibilité combinée dans un seul système : rayons X pour • Choix d’écrans plats Varian ou Perkin Elmer l’inspection visuelle rapide et TN pour l’analyse en profondeur • Visualisation en temps réel des rayons X, reconstruction rapide par TN • Capture rapide des données et grande qualité d’image • Mesure par TN de volumes jusqu’à X:450 mm, Y:350 mm, Z:750 mm (version ST) • Travail rapide grâce au joystick interactif • Manipulateur de pièce 5 axes entièrement programmable • Imagerie et traitement numériques à haute résolution • Flux de travail de mesure automatisé à macros personnalisables • Système de sécurité sans précautions particulières ni badge • Faible encombrement au sol et roulettes pour une meilleure manipulation • Intégration parfaite aux applications de post traitement des normes industrielles

Tomographie Numérique (TN) Pour générer un volume 3D par TN, on capture des séquences d’images 2D aux rayons X, pendant que l’objet tourne de 360°. Ces images sont ensuite reconstruites pour générer une représentation volumique en 3D de l’objet. En plus des surfaces extérieures, le volume reconstruit contient toutes les informations sur les surfaces intérieures et sur la structure, ainsi que les informations sur la structure du matériau. Il est possible d’aller sur n’importe quel point, quel que soit le plan, dans le volume acquis par TN. On peut donc même réaliser des mesures intérieures, avec, comme avantage supplémentaire, de pouvoir localiser les imperfections de la structure de la matière et d’identifier les erreurs d’assemblage que les méthodes traditionnelles de contrôle non destructif ne peuvent pas voir.

5 XT H 320 SYSTEME A GRANDE CABINE POUR LA METROLOGIE PAR TOMOGRAPHIE NUMERIQUE

Le XT H 320 est un système à grande cabine pour le scanning et la métrologie par Tomographie Numérique rayons X des gros composants. Le système se compose d’une source microfocus de 320 kV délivrant une puissance pouvant atteindre 320 W.

On utilise un écran plat à grande résolution pour prendre des images de grande qualité de l’échantillon. Le logiciel Inspect-X permet de commander le système. Il permet d’effectuer de façon simple et aisée la collecte des données de la Tomographie Numérique et de configurer les mesures. Le système peut générer des données de type volume3D visualisables par les logiciels de visualisation du marché.

Des images stupéfiantes Microfocus 320 kV Grâce à leur grande plage dynamique, les écrans plats Perkin La plupart des fournisseurs de systèmes n’offrent que des Elmer permettent de mieux scanner les échantillons multi matières sources microfocus allant jusqu’à 225 kV, tandis que les sources ou faiblement atténués. Les scans par TN, grâce aux écrans plats plus puissantes qu’ils proposent sont de la catégorie minifocus. avec beaucoup de pixels, permettent d’atteindre des données Avec des échantillons plus grands, on a souvent besoin d’une de voxel à haute résolution. Les cabines plus larges peuvent être plus grande puissance de pénétration, par conséquent, Nikon configurées avec des écrans Perkin 4000 x 4000 à plus haute Metrology offre une source unique de rayons X microfocus de résolution, offrant ainsi des images d’une netteté parfaite. 320 kV. La taille des rayons X de ces sources étant plus faible par rapport aux sources minifocus, l’utilisateur bénéficie d’une meilleure résolution et précision ainsi que d’un plus large éventail de pièces mesurables.

Avec les systèmes par Tomographie Numérique de Nikon Metrology, vous pouvez • Vérifier les structures internes complexes • Isoler et inspecter des composants intégrés • Mesurer les dimensions internes sans avoir à découper l’échantillon Escargot fossile Batterie • Détecter et mesurer automatiquement les vides/les volumes intérieurs • Révéler facilement les surfaces intérieures et extérieures • Réduire le temps total d’inspection • Réduire le nombre d’itérations pour faire un réglage fin des paramètres de (pré-)production

Flacon de mousse à raser Evaluation de l’épaisseur des parois sur une turbine

6 INSPECTION RAYONS X ET PAR TOMOGRAPHIE NUMERIQUE XT H 450

SOURCE MICRO-FOCUS 450 kV GRANDE PUISSANCE

Le XT H 450 est la nouvelle référence pour la mesure de pales de turbine et les essais non destructifs de pièces moulées de petite taille et de taille moyenne. Au coeur de cet équipement puissant se situe la source micro-focus de 450 kV, qui permet une résolution et une précision de haut niveau.

Le détecteur courbe à barrette linéaire permet d’optimiser les rayons X reçus en éliminant le phénomène de dispersion qui perturbe toujours les radiographies 2D des pales et des autres pièces métalliques.

Caractéristiques • Exceptionnelle source micro-focus 450 kV à tube ouvert • Source plus puissante disponible (en option) • Plusieurs options d’imagerie Applications - Détecteur à écran plat Perkin Elmer (XT H 450 3D) • Analyse détaillée de la structure interne des pales de turbine - Détecteur à faisceau linéaire courbe (XT 450 2D) • Inspection automatisée des pales, de type bon/mauvais - Combinaison d’un écran plat et d’un CLDA • Inspection de pièces de grande densité (pièces métalliques, pièces • Volume de mesure atteignant 600 mm de diamètre et moulées) avec une précision au micron 600 mm de haut • Manipulateur 5 axes, à table rotative, entièrement programmable, équipé de vis à billes et de glissières linéaires de précision • Application dédiée pour l’inspection de type passe/passe pas des pales de turbine

Débit plus rapide ou meilleure qualité des données avec une source plus puissante La nouvelle source 450 kV (en option), plus puissante, permet d’utiliser au mieux ce système XT H 450. Pour une taille de focalisation et une puissance données, les données peuvent être collectées, de 3 à 5 fois plus vite, ce qui offre un débit plus rapide à l’utilisateur. On peut aussi, pour une puissance et un temps de La source 450 kV, plus puissante, offre les mêmes Images par rayons X et sections par mesure donnés, obtenir une meilleure résolution, ce qui améliore la avantages que la source à cible rotative : collecte Tomographie Numérique d’une pale de turbine plus rapide des données ou données de meilleure mono cristalline pour l’aéronautique, générées qualité des données. La source, plus puissante, délivre également une qualité, avec une puissance continue. par un système XT H 450 équipé d’un détec- puissance de 450 W en continu, sans limitation du temps de mesure. teur linéaire courbe (CLDA)

Analyse d’une tronçonneuse par rayons X Analyse d’un carter de moteur par rayons X Modèle volumique d’une pièce de moteur moulée en Tomographie Numérique 7 Systèmes rayons x et Tomographie Numérique configurables CONFIGURATIONS SANS LIMITE POUR UN SCANNING PAR TOMOGRAPHIE NUMERIQUE DE PRECISION

Les systèmes configurables par rayons X/TN de Nikon Metrology proposent un large volume d’inspection, de nombreuses sources, plusieurs détecteurs et peuvent être personnalisés à la demande du client afin de s’adapter à toutes sortes d’applications. On peut installer les systèmes à TN microfocus modulaires de Nikon Metrology dans des cabines existantes ou dans des walk-in rooms pour rénover des installations argentiques plus anciennes ou des systèmes mini ou microfocus anciens.

Au cœur de ces systèmes configurables, on retrouve les sources microfocus fabriquées par Nikon d’une énergie atteignant 450 kV. La dimension du point focal de ces sources microfocus est inférieur à celui des sources mini-focus. La résolution et la précision en sont améliorées.

Système de scanning par Tomographie Numérique grande dimension Le système de scanning C2 convient bien aux objets denses et encombrants. Ce système peut recevoir deux sources, deux détecteurs et un écran plat multi-positions, afin de scanner avec précision des objets atteignant 150 kg. Grâce à sa source rayons X verticale et syn- chronisée et au déplacement du détecteur le C2 offre une enveloppe d’inspection inégalée. Le système offre une précision parfaite grâce à sa fondation en granite de 4,3 mètres de long. Il est configurable et peut recevoir un détecteur à écran plat et un faisceau linéaire courbe de diodes (CLDA) afin de diminuer la dispersion et augmenter considérablement la définition de l’image.

Tomographie Numérique compacte et précise Le M2 redéfinit complètement le scanning industriel par TN. Il est configuré pour recevoir deux sources, deux détecteurs et un écran plat multi-positions afin de scanner avec précision des objets de toute forme et de toute taille. Le M2 est équipé d’un manipulateur vertical, d’un plateau tournant pivotant et d’un portique pour les échantillons reposant sur ses deux extrémités pour un positionnement et une précision de grande qualité.

Cabines sur mesure ou walk-in-rooms Ces systèmes configurables à TN peuvent être installés dans des cab- ines existantes ou dans des pièces de plain-pied. Vous êtes donc libre de configurer vos installations rayons X et par TN en fonction de vos besoins ou même de mettre à jour vos installations existantes grâce à la toute dernière technologie rayons X et par TN.

8 INSPECTION RAYONS X ET PAR TOMOGRAPHIE NUMERIQUE Système de Tomographie Numérique MCT225 UNE PRECISION ABSOLUE POUR UNE APPROCHE METROLOGIQUE 3D INTERNE DES PIECES

Le MCT 225 mesure efficacement toute la géométrie interne et externe sans besoin de mise à l’échelle et sans endommager l’échantillon. Nikon Metrology combine 50 ans d’expérience en métrologie de Machines à Mesurer Tridimensionnelles et 25 ans d’expérience en Tomographie Numérique par rayons X, ce sont nos fondements pour réaliser une machine de métrologie TN à nulle autre pareille.

Précision absolue Le MCT225 est pré-calibré selon les normes de précision de l’institut national du Royaume-Uni de mesure (NPL) et vérifié à l’aide de la norme VDI Guide de pénétration des matériaux / VDE 2630 pour la Tomographie Numérique dans la mesure dimensionnelle. La précision absolue garantit une précision de mesure sans la nécessité de PLASTIQUE 170 mm faire des analyses comparatives fastidieuses ou des mesures de référence ; ALUMINIUM 75 mm les échantillons sont simplement posés sur une table tournante à l’intérieur FER 15 mm de l’enceinte et sont mesurés. Plusieurs caractéristiques clés de métrologie fournissent une stabilité à long terme et permettent au MCT225 d’atteindre D’autres matériaux appropriés une spécification de précision impressionnante de 9 + L/50 μm ACIER, CÉRAMIQUE, FIBRE DE CARBONE et BOIS Caractéristiques • Source rayons X micro-focus développée par Nikon Metrology. • Température de l’enceinte contrôlée. • Guidages linéaires de haute précision. • Compensation géométrique des axes • Source rayons X avec refroidissement liquide. • Encodeurs optiques à haute résolution. • Détecteur de haute résolution 4Mega pixel. • Finite Element Analysis (FEA) manipulateur optimisé.

Processus de Métrologie par TN

Collecteur hydraulique TN du volume de Comparaison directe Section de Rapport dimensionnel de voiture F1 reconstruction avec le modèle CAO géométrie interne avec GD&T

9 XT V 160

SYSTEME D’INSPECTION RAYONS X HAUT DE GAMME

De nos jours, les cartes de circuits imprimés sont si densément garnies que les connexions de composants sont cachées par d’autres composants, faisant ainsi des rayons X la seule solution d’inspection réellement applicable. Le XT V 160 est un système d’inspection des circuits imprimés facile à utiliser, rentable et de grande qualité, destiné aux lignes de production et aux laboratoires d’analyse de rupture de pièce.

En mode d’inspection automatisée, les échantillons sont inspectés à grande vitesse. En mode manuel, le logiciel intuitif et la manipulation très précise de l’échantillon permettent à l’opérateur de visualiser et d’évaluer les plus infimes défauts et faiblesses.

Caractéristiques • Source microfocus NanoTech 160kV / 20W brevetée avec reconnaissance des entités inférieures au micron. • Angle d’inclinaison de 75° pour une inspection optimale des BGA • Acquisition rapide des données et grande qualité d’image • Grand plateau pour charger de nombreux circuits • Flux de mesures automatisé avec macros personnalisables • Disponibilité d’une station de validation séparée

Avantages • Flexibilité dans un seul système - Visualisation interactive - Inspection par rayons X entièrement automatisée - Tomographie (en option) pour analyse en profondeur • Agrandissement maxi sous des angles jamais vus (jusqu’à 75°) • Fonctionnement rapide avec navigation par joystick interactif • Maintenance à coût réduit avec technologie à tube ouvert • Système sécurisé ne nécessitant ni précautions spéciales ni badge • Faible encombrement au sol et masse réduite pour une installation aisée

Applications • Analyse de brasage avec refusion • Analyse et connectivité des BGA • Calcul des vides dans les brasages • Inspection et mesure des gravures • Mesures des espaces sur les joints de matrice • Analyse des liaisons par point sur la puce (ball bond) • Analyse des liaisons par point sur le substrat (stitch bond) • Analyse des micro BGA / chip on chop • Analyse des réseaux pad array Quels que soient la rotation, l’inclinaison et l’agrandissement, la zone étudiée est • Détection et analyse de brasures non conductrices systématiquement placée au centre du champ de vision.

10 INSPECTION RAYONS X ET PAR TOMOGRAPHIE NUMERIQUE XT V 130C SYSTEME DE CONTROLE QUALITE ELECTRONIQUE POLYVALENT ET FACILE A UTILISER

Le XT V 130C est un système d’inspection très flexible et rentable pour l’électronique et les semi conducteurs. Le système possède une source 130 kV/10 W de Nikon Metrology, un tube ouvert mondialement reconnu, un générateur intégré et une chaine d’imagerie haute résolution.

Grâce à une série de mises à jour effectuées en usine et sur le terrain, l’utilisateur final peut configurer son système en fonction de ses propres besoins, avec une source plus puissance, un plateau rotatif pour ses échantillons, un écran plat (en option) et la possibilité d’ajouter la technologie par TN.

Applications • Composants électroniques et électriques - Détection de rupture de joints, décollement de joint de bille, Magnification de l’image pour permettre à l’utilisateur de zoomer sur un détail spécifique déplacement de fil, joint de matrice, brasure défectueuse, ponts/court-circuits, création de vide, etc. Caractéristiques • Cartes de circuits imprimés garnies et non-garnies - Visualisation des défauts de montage en surface : défauts • Source micro-focus 20-130 kV brevetée avec reconnaissance des d’alignement, porosité des joints de brasure et ponts entités d’une taille de 2 µm - Inspection détaillée des ponts, des plaques ajourées et de • Zone de mesure de 406 x 406 mm l’alignement multi-couches • Manipulateur pouvant réellement pivoter à 75° pour permettre - Technologie CSP au niveau des galettes (WLCSP) d’obtenir des angles de vues inclinés afin de faciliter l’inspection - Inspection BGA et CSP des entités internes - Inspection de brasure sans plomb • Porte sur charnières pour accéder facilement à la zone • Système micro-électro-mécaniques (MEMS, MOEMS) d’inspection • Câbles, faisceaux, plastiques et bien d’autres • Les composants demandant une maintenance sont facilement accessibles

Avantages • Fonctionnement en ligne avec une navigation intuitive par joystick • Maintenance à coût réduit grâce à la technologie à tube ouvert • Système sûr ne nécessitant ni dosimètre, ni protection spéciale • Faible encombrement au sol et masse réduite, facilitant l’installation • Possibilité de compatibilité avec la Tomographie Numérique

Facilité d’accès de la zone d’inspection Angle d’inclinaison jusqu’à 75° offrant assez de souplesse pour repérer rapidement les problèmes de connexion

11 AUTOMATISATION DE LA TOMOGRAPHIE NUMERIQUE – PRET POUR LA PRODUCTION

Le défi important pour les fabricants est d’augmenter la qualité de leurs produits, ce qui peut être réalisé par une inspection à 100% des pièces. Les récentes avancées dans les cibles rotatives haute résolution à haut flux pour les sources rayons X, l’automatisation facile des paramètres de scanning par Tomographie Numérique (TN) et les techniques d’analyse permettent de scanner, de reconstruire et d’évaluer les échantillons en moins de deux minutes. Cela ouvre la voie à une large gamme d’applications d’inspection automatisée, qui vont de la simple inspection bon/mauvais à l’inspection automatisée par TN en ligne avec retour d’informations vers le processus de production. Inspection des lots par TN

Le logiciel Inspect-X permet d’enregistrer des profils avec les paramètres de scan et de reconstruction afin d’assurer la répétabilité de tout le processus par TN.

Avantages • Aucune qualification en programmation n’est nécessaire. • Inspect-X charge l’analyse qu’il faut et les programmes de construction de rapport. • L’utilisateur peut librement effectuer des tâches en parallèle comme la préparation des échantillons. L’inspection des lots permet d’automatiser plusieurs scans avec une manipulation manuelle de la pièce.

Inspection semi-automatisée par TN

Avec les systèmes d’inspection semi-automatisée par TN, seul le chargement de la pièce ou d’un support d’échantillons recevant plusieurs pièces est manuel. Le scanning et le processus d’analyse bon/mauvais sont entièrement automatisés.

Avantages • Une interface utilisateur personnalisée et simplifiée (IU) guide l’utilisateur pendant tout le processus. • Identification de la pièce code à barres ou code QR. L’inspection semi-automatisée permet d’automatiser toutes les actions en • Intégration dans la base de données de fabrication. chargeant plusieurs pièces.. • Processus répétable. Inspection par TN en ligne

L’inspection par TN en ligne est une solution d’inspection à 100% pour les environnements de production automatisés quand il s’agit d’inspecter des pièces critiques présentant des géométries intérieures complexes. Les robots chargent/déchargent des échantillons sur les convoyeurs et positionnement les pièces dans le système à TN à travers une porte automatisée.

Avantages • Intégration aux systèmes de robot et de convoyeur. • Contrôle qualité amélioré L’inspection en ligne permet d’intégrer complètement l’inspection par TN dans la • Meilleure efficacité ligne de production. • Traçabilité complète 12 METROLOGIE MULTI-CAPTEURS

L100 LC15Dx XC65Dx-LS H120 MCAx

ALTERA HC90 HC90 Double rail

SCANNING LASER MMT

SCANNING LASER PORTABLE

MACHINES A MESURER TRIDIMENSIONNELLES

LOGICIELS DE METROLOGIE MULTI-CAPTEURS

13 Scanners laser numériques pour MMT LE SCANNING LASER NUMERIQUE DYNAMISE LES PERFORMANCES DE L’INSPECTION

L100 – Le scanner laser ultime pour MMT, combinant productivité et précision

Le scanner laser L100 pour MMT offre la meilleure combinaison possible de vitesse, de précision et de facilité d’utilisation. Conçu pour mesurer les surfaces et les entités, le scanner L100 fournit rapidement des données précises et permet d’obtenir des rapports trés pertinents de comparaison avec la CAO, même sur des surfaces brillantes ou composées de plusieurs matières.

Le L100 est idéal pour inspecter les grandes pièces pour lesquelles la productivité est la clé, mais sans avoir à faire de compromis avec la précision. Equipé avec un objectif optique Nikon en verre de grande qualité et une caméra haute définition, le L100 propose une résolution de point de 42 µm et une erreur de palpage exceptionnellement faible de 6.5 μm, permettant d’obtenir un maillage lisse et des détails précis.

LC60Dx – Scanner numérique polyvalent

Le LC60Dx est un scanner polyvalent pouvant être utilisé sur les MMTs et sur les bras portables. Le LC60Dx est conçu pour scanner sans effort des matériaux avec des surfaces changeantes ou difficiles à scanner. Comme tous les autres scanners numériques de Nikon, le LC60Dx est équipé de l’exceptionnelle capacité ESP Capteur Haute Performance qui fournit en temps réel un réglage point par point de l’intensité du laser afin de s’adapter en permanence à la surface de la matière.

Avantages du scanning laser MMT • Meilleur aperçu des écarts • Augmente la productivité de l’inspection - Les rapports en couleurs sur la surface/le profil/les entités, par rapport à la - Les scanners collectent plus d’informations en moins de temps. CAO, fournissent visuellement des informations détaillées sur la conformité du - Moins de déplacements de la MMT donc mesure plus rapide des entités. produit. - La programmation hors ligne à partir de la CAO permet d’économiser - Permet de prendre plus rapidement une décision et de mettre en place des sur la préparation et la modification des programmes de mesure. actions correctives. - Permet des itérations moins nombreuses et plus courtes dans le processus de • Mesure des composants souples et fragiles conception et un temps de mise sur le marché plus réduit. - Mesure les surfaces délicates qui ne peuvent pas être touchées. - Grâce à un dépannage plus rapide, raccourcit les temps d’arrêt. - Pas de déformation des matériaux souples comme les mousses, le caoutchouc, les membranes, etc • Renforce les capacités de votre MMT actuelle - Scanne toutes les matières - Pas de traitement spécial pour les pièces - La technologie multi-capteurs augmente considérablement la polyvalence d’une sombres ou brillantes. MMT avec l’inspection sans contact et par palpeur à contact. - Retrofit du matériel et du logiciel de contrôle existants de la MMT. Des kits de retrofit sont disponibles pour la plupart des principales marques de MMTs.

14 METROLOGIE MULTI-CAPTEURS

CAPTURE 3D COMPLETE DES SURFACES ET ENTITES GEOMETRIQUES COMPLEXES

LC15Dx – Réduction de l’écart avec la précision par contact

Le scanner numérique LC15Dx emmène le scanning laser dans la même gamme de précision que la mesure tactile, tout en capturant une multitude de points de mesure. Grâce à un objectif Nikon de grande qualité, le LC15Dx atteint une précision de palpage de 1.9 µm et une précision de test erreur multi-positions de 3.9 µm dans des tests comparables aux normes EN/10360-2 et -5.

Avec son plus petit champ de vision, il s’adapte parfaitement aux objets plus petits ou aux objets plus détaillés avec une plus grande densité de points ou des tolérances plus serrées.

XC65Dx(-LS) Scanner en croix – Inspection productive des entités Grâce à ses 3 lasers en croix, le XC65Dx capture en 3D tous les détails des entités géométriques, des bords, des poches, des nervures et des surfaces de forme libre, et ce en un seul scan. En numérisant des formes complexes selon trois axes, le scanner en croix acquiert la géométrie 3D complète des formes, ce qui permet d’en extraire avec précision les positions et dimensions.

Le XC65Dx-LS a une plus grande distance de retrait ce qui permet une capture optimale dans les poches et les rainures profondes, et permet d’accéder aux endroits difficiles à atteindre. Le scanner en croix convient à l’inspection des pièces de carrosserie automobile avec des entités en 2 ou 3D, des pièces de moteur obtenues par fonderie, des pièces moulées complexes en plastique, etc.

Spécifications

L100 LC15Dx LC60Dx XC65Dx XC65Dx-LS Dimensions champ de Environ 100x60 mm 18x15 mm 60x60 mm 65x65 mm (3x) 65x65 mm (3x) vision

1 Erreur de palpage (MPEP) 6,5 µm 1.9 µm 9 µm 12 µm 15 µm Acquisition des données 200,000 70,000 77,000 3 x 25,000 3 x 25,000 (environ, points/sec) Scanner Haute ESP4 ESP3 ESP3 ESP3 ESP3 Performance (ESP3)

1 Test Nikon Metrology comparable à EN/ISO 10360-2

15 MMT MULTI-CAPTEURS

MMT ALTERA MULTI - CAPTEURS

Les MMTs ALTERA de LK Metrology couvrent les besoins évolutifs, actuels et futurs, des fabricants. Elles sont fabriquées en céramique de très haute qualité avec un rapport rigidité/poids excellent. Leur résistance aux écarts de température est excellente ce qui les rend performantes dans tous les environnements de production.

Grâce à l’utilisation de composants avancés et à une conception optimisée, la nouvelle gamme ALTERA propose des machines performantes, fiables et peu coûteuses d’entretien.

ALTERA M ALTERA SL ALTERA S

MMT à bras horizontal

La MMT à bras horizontal HC90 offre des performances inégalées en termes de vitesse, de précision et de répétabilité. Avec leurs glissières en céramique et leurs coussins d’air, les MMT HC90 sont très stables à grande vitesse et sous forte accélération. Les MMT à bras horizontal LK Metrology permettent un accès exceptionnel à toute l’enveloppe de mesure. Elles peuvent être enterrées ou placées sur le sol et être intégrées dans des cellules de mesure automatisées.

HC90 HC90 Double rail HC90 Double rail intégré

16 METROLOGIE MULTI-CAPTEURS Scanning portable SCANNING ULTRA RAPIDE SANS COMPROMIS SUR LES DETAILS

Le bras de mesure polyarticulé MCAx est un système de mesure portable 7 axes précis, fiable et facile à utiliser. Il est la combinaison idéale avec les scanners laser numériques portables ModelMaker MMDx et il convient à la perfection à l’inspection 3D portable et aux applications de rétro conception.

Le scanner ModelMaker H120 propose la technologie laser à lumière bleue, un taux d’acquisition ultra rapide, des optiques développées spécialement par Nikon et il est capable de mesurer les matériaux les plus difficiles. Il est possible de mesurer de très petits détails sur de grandes surfaces, même quand le temps de cycle est critique, grâce aux 2000 points par ligne de scan et sans avoir à se reposer sur l’interpolation point par point pour augmenter artificiellement la densité des données.

Le modèle d’entrée de gamme ModelMaker MMDX propose une largeur de ligne de 50 à 200 mm, une grande vitesse Applications d’acquisition des données et l’ESP3 pour numériser presque toutes les surfaces brillantes ou avec beaucoup de couleurs sans • Inspection complète par rapport à la CAO • Inspection des entités géométriques avoir à préparer la surface. • Inspection des jeux et affleurements • Rétro conception • Dépannage sur site Caractéristiques • Données d’entrée pour prototypage rapide ModelMaker H120 • Technologie laser à lumière bleue • Optiques Nikon ultra nettes • Largeurs de ligne atteignant 120 mm • Fréquence d’acquisition extrêmement rapide et dépassant 450Hz • Précision du scanner jusqu’à 7 µm (1σ) • Précision du système combiné avec le bras MCAx atteignant 28 μm (2σ) • Le Capteur Haute Performance (ESP4) permet de mesurer des matériaux difficiles comme la fibre de carbone, le noir brillant, les pièces réfléchissantes ou multicolores.

ModelMaker MMDx • Multiples largeurs de faisceau, de 50 mm à 200 mm Expérience de numérisation améliorée avec le ModelMaker H120 • Précision de 10 µm (1σ) • Capteur Haute Performance pour scanner les pièces dont la matière et la réflectivité de la surface varient

Bras articulé MCAx • Options de palpage flexible • Scanning intuitif et logiciel d’inspection • Longueurs disponibles : entre 2 m et 4.5 m • Construction de pointe : bras en fibres de carbone pour l’aéronautique – résistant mais léger avec une garantie à vie La largeur de faisceau du scanner MMDx est de 50/100/200 mm • Rotation infinie de tous les axes de base pour une utilisation illimitée.

17 FOCUS: LOGICIEL DE NUAGE DE POINTS

INTRODUCING FOCUS A WEALTH OF APPLICATIONS Focus point cloud software Streamlining CMM and handheld laser scanning inspection Focus presents a clear, graphical UI where users will feel at ease immediately with direct access to most used functions. Sheet metal inspection Focus offers tightly integrated data acquisition – via CMM or handheld scanners – and intelligent processing and reporting. Sheet metal and body panel inspection, mainly used in the automotive industry, is one of the target Direct access to workfl ow selection, customization and automation facilitate the setup and execution of processing jobs. applications for Focus Inspection. Not only 3D forms need to be inspected, but also features, edges, Focus drives seamlessly latest-generation Nikon Metrology CMM and handheld laser scanners, and supports many CMM and and assemblies. Techniques including surface inspection and virtual matching, GD&T, and fl ush & gap articulated arm brands analysis, complete a comprehensive toolbox for running your inspection job. Automation capabilities allow the process to be smoothly streamlined into standard processes, in-line or off-line. Le logiciel Focus est au coeur de tout le processus d’inspection Plastic molding inspection Plastic injection molding is characterized by various material-dependent process Every step in the process has its own specifi c behaviors: shrinkage due to cooling down, material fl ows, humidity absorption, etc. numérique. Ce qui fait sa force, c’est l’inspection 3D qui permet and user confi gurable icon sets Therefore, a visual 3D inspection report is an indispensable tool to quickly detect any part imperfections. Whereas a scanner is ideal to inspect the outer surface, CT scanning is the ultimate solution when detailed insight into the inner structure is Updated compare fl y-outs simplify “go/no-go” required. d’obtenir des comparaisons avec la CAO, faciles à interpréter, et inspection decisions Casting inspection The complete casting process is characterized by a strict inspection of the surface The enhanced 3D manipulation of objects makes CAD and shape. Molds and sand cores as well as pre-series samples require detailed une inspection très pointue des entités géométriques. Focus gère point cloud analysis more intuitive and consistent inspection to guarantee correct serial production. Serial production also needs sample-based preventive monitoring to detect wear early on in the process. CMM laser scanning and/or CT offer quick and complete 3D digital copies for in-depth inspection. In case specifi c features need detail inspection, CMM laser scanners can be seamlessly integrated with touch probe point and scanning aussi l’acquisition des données à partir des scanners laser sur MMTs measurements.

THE DIGITAL INSPECTION PROCESS Turbine blade inspection Turbine Blade Inspection is a dedicated module in the Focus Inspection portfolio. The effi ciency et les bras articulés, mais également la préparation hors-ligne afin Nikon Metrology solutions essentially feed critical geometric measurement data into today’s digital information streams that of turbine blades is defi ned by their profi le, hole features, correct placement in the turbine, and drive new product development and fabrication. Smart digital inspection solutions, such as Focus software and laser scanners, uniformity of turbine blade wear. The Focus Turbine Blade Inspection module offers a wealth of accurately and automatically digitize the complete geometry of freeform surfaces and features. functionalities for automatic inspection of series of blades. d’automatiser les tâches de scan des MMTs. Digitizing components up-front and running inspection on the digital copies of the samples, streamlines metrology operations Medical implants and embeds them into the digital CAD-centric development process. As a Digital Inspection Process provides more profound With medical devices, failure is not an option. For medical components, such as knee or hip implants and hearing aids, metrology insight, it is essential to improving and accelerating styling, tooling, prototyping and serial production. the as-built shape of the component is crucial for fast patient recovery and maximum comfort. By digitizing a patient- specifi c part, the entire geometry can be evaluated on the basis of graphic color diagrams

Focus_EN_0117 – Copyright Nikon Metrology NV 2017. All rights reserved. The materials presented here are summary in nature and intended for general information only. summary in nature are here The materials presented NV 2017. All rights reserved. Focus_EN_0117 – Copyright Nikon Metrology Avantages Handheld ISO 14001 Certified NIKON METROLOGY NV NIKON CORPORATION for NIKON CORPORATION Geldenaaksebaan 329 Shinagawa Intercity Tower C, 2-15-3, Konan, B-3001 Leuven, Belgium Minato-ku, Tokyo 108-6290 Japan ISO 9001 Certified phone: +32 16 74 01 00 fax: +32 16 74 01 03 Telefon: +81-3-6433-3701 Fax: +81-3-6433-3784 for NIKON CORPORATION Le logiciel couvre une large gamme d’applications d’inspection et offre des performances [email protected] www.nikon.com/products/industrial-metrology/ Microscope Solutions Business Unit NIKON METROLOGY EUROPE NV NIKON METROLOGY, INC. NIKON INSTRUMENTS (SHANGHAI) CO. LTD. Industrial Metrology Business Unit

Next-to-the-line tel. +32 16 74 01 01 tel. +1 810 2204360 Tel.: +86 21 5836 0050 [email protected] [email protected] Tel.: +86 10 5869 2255 (Beijing office) NIKON METROLOGY GMBH NIKON METROLOGY UK LTD. Tel.: +86 20 3882 0550 (Guangzhou office) stupéfiantes, une interface utilisateur intuitive et une fonctionnalité macro standard permettant Focus Inspection tel. +49 6023 91733-0 tel. +44 1332 811349 NIKON SINGAPORE PTE. LTD. [email protected] [email protected] Tel.: +65 6559 3618 NIKON METROLOGY SARL [email protected] In-line tel. +33 1 60 86 09 76 NIKON MALAYSIA SDN. BHD. [email protected] Tel.: +60 3 7809 3609 d’automatiser tout le processus d’inspection. Wide range of measurement solutions Multi-functional NIKON INSTRUMENTS KOREA CO. LTD. Physical part Digital copy Tel.: +82 2 2186 8400 for easy data collection analysis software More offices and resellers at www.nikonmetrology.com NIKON METROLOGY I VISION BEYOND PRECISION

Focus_EN_0117-100.indd 1 20/02/17 16:37 • Intégration en douceur du scanning et de l’inspection pour faciliter le flux de l’inspection sur les MMTs et les moyens portables, pour les opérateurs ou les ingénieurs • Nouvelle barre d’outils pour faciliter le flux de l’inspection. • Détection intelligente des entités et algorithmes de mesure. Résultat : une productivité accrue et des résultats cohérents et réguliers. • Palette extrêmement complète de fonctions pour l’inspection des surfaces numérisées et des entités. • Production de rapports interactifs et faciles à interpréter pour aider la prise de décision. Comparaison de la pièce avec la CAO • Automatisation de l’inspection ne nécessitant aucune compétence particulière en programmation. • Partage des résultats 3D avec les collègues et les clients grâce au viewer de Focus Inspection des surfaces L’inspection par comparaison avec la CAO permet de comparer le nuage de points acquis avec les données CAO nominales et d’afficher les écarts géométriques dans un rapport graphique clair. On utilise la surface d’inspection pour étudierles phénomènes de retour en position des matériaux et de retrait ainsi que pour s’assurer que la forme de la pièce est celle que l’on désire.

Analyse GD&T • Inspection complète de la pièce par la CAO • Coupes 2D et 3D • Epaisseur des parois, analyse des bords,, etc. • Images flottantes personnalisées pour une interprétation claire Inspection des entités La vérification de la position et des dimensions des entités des composants est capitale afin de garantir un montage optimal dans l’assemblage futur.

Mesure des jeux et affleurements • Détection automatique et semi-automatique des entités - Entités 2D : point à la surface, trou, fente, plan, etc. - Entités 3D de base : cylindre, sphère, etc. - Entités 3D avancées : goujons en T, en ‘sapin’, axe diamant, etc. • Inspection des coupes des jeux et affleurements entre les assemblages (caisse, porte, coffre, etc.) - Définition des jauges spécifiques à l’utilisateur pour les jeux et affleurements - Bords combinés : création de points virtuels sur les bords. • Importation de données GD&T à partir de la CAO nominale • Palette complète de fonctions certifiées GD&T pour définirles tolérances de forme, d’orientation et de position Section reporting • Algorithmes de calcul des entités certifiés PTB

18 METROLOGIE MULTI-CAPTEURS

CMM-MANAGER: LOGICIEL DE METROLOGIE COMPLET POUR MMTs MANUELLES, CN ET PORTABLES

CMM-Manager est un logiciel orienté opérateur, hautement intuitif, pour MMTs manuelles et à Commande Numérique. Les utilisateurs peuvent en faire plus en moins de temps avec l’inspection en série automatisée ou en palpant rapidement des points.

CMM-Manager se présente à l’opérateur avec des icônes simples et intuitives et un guide de la mesure : c’est ce qui en fait un logiciel de métrologie convivial, facile à utiliser, pour l’inspection en atelier, en laboratoire ou sur le terrain.

Caractéristiques • Programmation graphique à partir de la CAO • Détection automatique des collisions • Fonctions d’alignement intelligentes • Reconnaissance automatique des palpeurs • Méthode du test sélectif pour augmenter le volume de mesure • Rapport graphique par glisser-déposer, prêt à être envoyé par mail

Avantages • Axé sur des résultats de mesure rapides et précis • Logiciel de métrologie très complet mais restant très facile d’utilisation • Logiciel identique pour la mesure portable, manuelle et sur CN

Capacités de retrofit • MMTs manuelles ou CN : Nikon Metrology, Sheffield, Mitutoyo, Brown & Sharpe, DEA, Zeiss, Starrett, Numerex, Helmel, Wenzel, Renishaw • Retrofits MMTs portables : MCA (I, II, x), K-Series Optical CMM, Faro, Romer/CimCore, Sheffield, Brown & Sharpe, Mitutoyo, Renishaw • Systèmes de mesure par vidéo iNEXIV

Logiciel facile d’emploi pour la mesure de pièces complexes Interprétation rapide des données grâce à un CMM Manager est aussi disponible sur les systèmes codage couleur des écarts géométriques de mesure par vidéo iNEXIV

19 INTEGRATION DE LOGICIELS TIERS

Nikon Metrology fournit des intégrations avec plusieurs logiciels de métrologie tiers, tels que CAMIO, Polyworks, Metrologic et bien d’autres. Les utilisateurs peuvent ainsi utiliser les MMTs, les bras articulés ou les Lasers Radar avec le logiciel de leur choix. Le niveau d’intégration dépend du logiciel et couvre la programmation en ligne/hors ligne, l’acquisition native multifonctions, l’inspection à partir ou non de la CAO, le palpage par scanning tactile/laser. Les données de mesure obtenues sont ensuite traitées dans des applications d’analyse dédiées.

Intégrations disponibles MMT BRAS ARTICULE MMT Scanning Palpage Scanning Palpage Scanning Palpage Laser Tactile Laser Tactile Laser Tactile Automatisé Automatisé Manuel Manuel Manuel Manuel CAMIO ✓ ✓ ✓ ✓ ✓ ✓ InnovMetric PolyWorks ✓ ✓ ✓ ✓ ✓ ✓ Metrologic Metrolog X4 ✓ ✓ ✓ ✓ ✓ ✓ 3D Systems Geomagic ✓ ✓ ✓ ✓ Autodesk PowerInspect ✓ ✓ ✓ ✓ Verisurf X ✓ ✓ ✓ ✓ ✓ NRK SpatialAnalyzer ✓ ✓ ✓ ✓

CAMIO de LK Metrology: simulation de numérisation InnovMetric Polyworks

3D Systems Geomagic Metrologic Metrolog X4

20 PRODUCTION ASSISTEE PAR LA METROLOGIE / METROLOGIE ROBOTISEE

Nikon Metrology aide ses clients à mettre en oeuvre avec succès toutes les capacités offertes par la production assistée par la métrologie. La production assistée par la métrologie est basée sur des données géométriques précises pour améliorer de façon systématique la précision et la rapidité des opérations de conception, de fabrication et d’assemblage.

LASER RADAR

MMT D’ATELIER

21 Laser Radar MV331/351

INSPECTION GRANDS VOLUMES SANS CONTACT, AUTOMATISEE

Le Laser Radar est un système de métrologie qui permet une inspection sans contact et avec un seul opérateur. Puisqu’il est programmable comme une commande numérique, il est prêt pour faire des opérations complètement automatisées sans surveillance. Le Laser Radar dispose de la technologie brevetée de réflexion laser qui permet la mesure directe de surface et d’entités à des débits élevés. En conséquence, le laser radar élimine l’utilisation pénible des points de photogrammétrie, des retro réflecteurs (SMRs) ou des palpeurs, réduisant le temps d’inspection et les frais de personnel. Le Laser Radar peut scanner des matériaux sombres et des matériaux qui réfléchissent fortement la lumière ou usinées avec des angles d’incidence importants.

Applications Caractéristiques • Inspection du fuselage, des ailes, de la connexion aile/ avion, des • Capacité de mesure pour le MV351 jusqu’à 50 m, MV331 jusqu’à 30 m trappes d’atterrissage et des pales de moteur à réaction • Le mode d’inspection de type scan capture jusqu’à 2 000 points par • Inspection de jeux et affleurement sur moteur à réaction seconde • Inspections automatisées des positions de trous de rivetage • Précision de 24 µm (2 m de distance) • Inspection des moules, premières pièces et séries en matériaux • Puissantes capacités pour mesurer les bords et les trous composites • Champ de vue augmentable à l’aide de miroirs. • Vérification sur machine de grandes pièces usinées. • Toutes les données acquises font référence à un seul système de • Vérification dimensionnelle de pièces moulées ou forgées avant coordonnées de commencer le processus de fraisage • S’adapte à un grand nombre de logiciels de métrologie • Mesure de pales de turbine et de panneaux solaires • Vérification de pièces de télescope pour l’espace, d’antenne Avantages parabolique et de surface isolante • La productivité est multipliée grâce à des mesures rapides et une faible action de l’opérateur • Les mesures sans contact sont idéales pour des pièces fragiles ou inaccessibles • L’automatisation permet de réduire la fatigue de l’opérateur et les erreurs de manipulation • Des mesures fiables et précises sur les matériaux composites • Intégration facile dans le processus de mesure

On utilise le Laser Radar pour l’inspection de grands volumes, pour des objets allant d’une porte passager à un avion entier, pour réduire les coûts et améliorer la qualité du produit et du processus.

22 PRODUCTION ASSISTEE PAR LA METROLOGIE / METROLOGIE ROBOTISEE

MMT D’ATELIER POUR L’INSPECTION DES CARROSSERIES

Le Laser Radar, quand il est installé sur un robot industriel, introduit une approche innovante de l’inspection des caisses en blanc. Ce système d’atelier permet d’effectuer des mesures dimensionnelles précises dans le repère d’axes de la voiture et d’effectuer la comparaison directement avec la CAO sans faire appel à une pièce de référence. A la différence d’une MMT à bras horizontal, ses mesures à grande vitesse conviennent à des temps de cycle de production courts. Dans le même temps, c’est une Le Laser Radar, installé sur un robot, est une alternative innovante à la solution plus flexible pour s’adapter aux changements de MMT traditionnelle à bras horizontal modèles et aux plans d’usines.

Caractéristiques • Inspection flexible, automatisée • Mesures absolues dans les repères d’axes des véhicules • Précision <0,1 mm sur le volume d’une voiture • Grande distance de recul pour éviter les collisions • Totalement programmable (hors ligne) • Disponible comme solution autonome ou en intégration robotisée Les entités comme les trous, les rainures, les goupilles, les goujons, etc., sont inspectées de manière automatique avec une vitesse de scan de 2000 points/sec en salle de mesure, en station by-pass ou directement sur la ligne de production • Peut servir d’interface avec les principales marques de robots industriels

Les Lasers Radars sont installés sur des bras robotisés 6 axes implantés de chaque côté de la ligne de production

23 INSTRUMENTS DE MESURE

Les instruments de mesure de précision, en métrologie, garantissent la meilleure assurance qualité tout au long de la production. Basés sur l’excellence optique de Nikon, les systèmes de mesure par vidéo, les microscopes de mesure et les projecteurs de profils établissent de nouvelles normes pour la mesure des toutes petites pièces.

SYSTEMES DE MESURE PAR VIDEO

MICROSCOPES DE MESURE

PROJECTEURS DE PROFILS

COMPARATEURS NUMERIQUES

AUTOCOLLIMATEURS

24 iNEXIV VMA-2520 / VMA-4540 / VMA-6555

SYSTEME DE MESURE PAR VIDEO A COMMANDE NUMERIQUE

Le système iNEXIV de mesure par vidéo à Commande Numérique peut inspecter automatiquement les dimensions de nombreuses pièces de précision, grâce aux technologies de mesure optique et de traitement de l’image. Il est possible de mesurer des échantillons de forme complexe en utilisant la détection précise des bords, avec les images des caméras CCD et le traitement des données.

L’iNEXIV VMA-2520 est un système de mesure, multi-capteurs à la fois léger et compact, avec des fonctions entièrement automatiques et de grande précision. Il convient parfaitement à de très nombreuses applications industrielles de mesure, d’inspection et de contrôle qualité.

iNEXIV VMA-4540 L’iNEXIV est conçu pour mesurer des pièces en 3D, peut recevoir des palpeurs à contact et intègre le tout dernier logiciel de traitement de l’image, ainsi qu’un système de zoom optique 10x et en option, une Caractéristiques solution auto-focus laser. • Corps faible encombrement pesant seulement 72kg (VMA-2520) • Volumes de mesure confortables : Le VMA-4540V/4540 est très rentable et propose une plus grande course - Course 250 x 200 mm sur XY et course 200 mm sur Z (VMA-2520) de mesure, permettant l’inspection de pièces mécaniques et électroniques - Course 450 x 400 mm sur XY et course 200 mm sur Z (VMA-4540) de plus grandes dimensions. Alors que le VMA-4540V ne propose que la - Course 650 x 550 mm sur XY et course 200 mm sur Z (VMA-6555) mesure par vidéo, le VMA-4540 propose, en plus, et en option, la mesure • Logiciel VMA AutoMeasure sophistiqué de palpeur par contact. • Laser auto focus à grande vitesse et haute précision (en option) • Compatible multi-capteurs : vision, laser et par contact Le VMA-6555 peut recevoir de grands échantillons (jusqu’à 650 x 550 x 200 mm) peut effectuer des mesures simultanées de plusieurs pièces. Le Avantages rapport coût/performance est optimal. Il possède le même corps en fonte et les mêmes roulements que les modèles haut de gamme. • Eclairage à LED de grande qualité et fabrication en alliage Le VMA-6555V est pour la mesure par vidéo, tandis que le VMA-6555 d’aluminium peur recevoir des palpeurs par contact. • Des contrôles rapides par étape augmentent le rendement de l’inspection • De nouveaux zooms rendent la mesure de pièces 3D plus facile Applications • Algorithme de pointe pour le traitement des images et de la • Pièces mécaniques (pièces métalliques et pièces injectées) capacité de recherche intelligente • Appareils électroniques • Matrices • Moules • Appareils médicaux

iNEXIV VMA-2520 iNEXIV VMA-6555 modèle à grande course Pièce en aluminium moulé

25 NEXIV VMZ-R LE NEXIV INTEGRE LES TOUT DERNIERS PROGRES TECHNOLOGIQUES

En ce qui concerne l’inspection, la mesure précise des produits de pointe (comme les smartphones et les tablettes) et la technologie de traitement de l’image à grande vitesse, pour la production en grande série, sont devenus la règle. La nouvelle génération de système NEXIV ambitionne de réaliser des mesures dimensionnelles et des relevés de formes rapides et précis, y compris sur des composants électroniques à haute densité et multicouches.

Rapidité et précision des mesures VMZ-R4540 Les codeurs linéaires, développés en interne par Nikon, permettent des Caractéristiques mesures d’un haut niveau de précision. De plus, les temps de cycle ont été raccourcis, grâce aux améliorations apportées à la technologie de • Laser Auto Focus conçu pour détecter la surface des pièces minces et transfert d’image et l’optimisation des possibilités d’éclairage. transparentes. • 6 solutions de zoom optique. Flexibilité des mesures • Éclairage à 8 segments annulaires et trois angles d’incidence. Le troisième angle d’éclairage annulaire permet de renforcer la détection • Précision de la mesure améliorée grâce aux codeurs linéaires à haute avancée des bords, tandis que le laser Auto Focus TTL (Through The résolution Lens) augmente la capacité du système à mesurer les composants • Disponible en différentes tailles (VMZ-R3020, VMZ-R4540, transparents. VMZ-R6555) • Interface utilisateur repensée pour permettre à chaque opérateur de disposer d’une interface personnalisée à la création des programmes Opérabilité de pointe de mesure. L’efficacité du travail a été améliorée en réduisant le nombre d’étapes nécessaires pour la création des programmes. Développée pour faciliter la compréhension, la nouvelle fonction “Fenêtre guide” en a simplifié l’utilisation.

Éclairage à 8 segments annulaires et trois angles d’incidence Les éclairages épiscopiques, diascopiques et annulaires utilisent des LED blanches qui procurent une grande stabilité et une longue durée de vie. L'éclairage annulaire à trois angles d'incidence est conçu pour permettre une meilleure capture des bords. VMZ-R3020 VMZ-R6555

Vitre de protection

37° WD:50 mm 55° WD:36 mm 78° WD:10 mm Substrat Angle d'incidence faible / Angle d'incidence important/ Le nouveau Auto Focus Laser a été développé pour détecter la surface Grande distance de travail Faible distance de travail des pièces minces et transparentes. Le nouveau capteur permet la détection de la surface supérieure comme la surface arrière. Nouvel éclairage à 8 segments annulaires et trois angles d’incidence.

26 INSTRUMENTS DE MESURE NEXIV CONFOCAL

MACHINE A MESURER 3D CONFOCALE

Le NEXIV confocal est un système de mesure par vidéo, multifonctions et révolutionnaire. Nikon l’a développé en s’appuyant sur la force de ses technologies opto-mécatroniques de pointe. Ce système intègre des optiques confocales pour évaluer avec vitesse et précision de petites géométries tridimensionnelles. Il intègre aussi des optiques à fond clair avec des zooms 15x. Il permet d’effectuer des mesures de hauteur et des mesures en 2D, avec le même champ de vision. La meilleure façon d’utiliser le NEXIV confocal est de le prendre pour inspecter les structures très complexes, telles que la hauteur des reliefs sur les semi-conducteurs les plus élaborés, les cartes des palpeurs, les marques laser sur les wafers, etc.

Applications Caractéristiques • Reliefs sur les encapsulages de circuit imprimé • Mesure simultanée de la hauteur sur une grande surface, avec les • Cartes de palpeur optiques Nikon brevetées • Composant optiques précis (micro objectifs, lentilles de contact) • Mesure en 2D avec les optiques zoom 15x à fond clair • Marques laser sur les wafers • Entièrement compatible avec la mesure des wafers de 300 mm, • MEMS pour la fabrication des semi-conducteurs • Collage de câble • Différentes tailles disponibles: VMZ-K3040 et VMZ-K6555

VMZ-K6555

Les images confocales capturées par un scan sur Z sont reconstruites en temps réel Vue d’ensemble d’un encapsulage Réseau fin de reliefs sur un substrat dans une carte aux contours 3D et avec des images à profondeur de champ étendue de wafer de silicium avec le logiciel (EDF) 3D Viewer (en option)

27 Microscopes de mesure Série MM-800/400/200 MICROSCOPES DE MESURE INTEGRANT L’IMAGERIE NUMERIQUE DANS LA METROLOGIE INDUSTRIELLE

Les microscopes de mesure Nikon sont performants, pratiques et extrêmement accessibles pour la modernisation et le développement. Les appareils de la série MM400/800, grâce à la commande entièrement numérique permettent d’effectuer les mesures les plus précises dans les environnements industriels les plus exigeants. Les microscopes de mesure conviennent parfaitement à l’inspection et à la mesure des petites pièces en 2D ou en 3D.

Le MM-200 est un microscope de mesure compact et léger, à un prix abordable, pour toutes les applications qui requièrent de la précision : mesure des pièces électroniques métalliques et en Microscopes de mesure MM-800 plastique pour toutes les industries, spécialement l’automobile et l’électronique.

Caractéristiques • Utilisation avec les caméras numériques Nikon et le logiciel de métrologie E-Max • Eclairage grande intensité par LED blanches, de série pour les PGA – goupille Image en fond clair applications sur fond clair • Interface backpack pour faciliter l’éclairage automatisé, contrôle des données de la table XY et de l’axe Z grâce à un ordinateur externe fonctionnant avec le logiciel E-Max • Auto-Focus Laser TTL en option • Pour la mesure de pièces plus importantes, une platine de 12” x 8” (300 x 200 mm) est disponible

CCD Roue dentée en plastique Avantages • Excellent traitement et stockage des données géométriques • Grande facilité d’utilisation, pouvant être renforcée par des Applications commandes motorisées et un design ergonomique • Laboratoire de puces électroniques • Statif renforcé pour accepter des platines plus grandes • MEMS • Sources d’éclairage supplémentaires, en option, pour augmenter la • Fabrication de pièces en plastique (pièces injectées) plage d’observation • Appareils médicaux • Micro-électronique et opto-électronique • Micro outillage • Analyse de la surface • Analyse des fissures et des faiblesses

Solutions associées • Systèmes de mesure vidéo NEXIV et iNEXIV • Microscopes industriels

MM-200 MM-400

28 INSTRUMENTS DE MESURE Projecteurs de profil, micromètres numériques, autocollimateurs

PRECISION SANS RIVALE, PERFORMANCE INEGALEE

Projecteurs de profil

Les projecteurs de profil Nikon appliquent les principes de l’optique à l’inspection des pièces manufacturées, en projetant la silhouette agrandie d’une pièce sur un écran. Afin de s’adapter aux applications spécifiques, chaque projecteur de profil est équipé de plusieurs objectifs, avec des grossissements, des distances de travail et des champs de vision différents.

The V-20B has a large effective screen diameter of 500 mm. La précision du grossissement est idéale pour mesurer et inspecter les profils, les états de surface et les autres aspects des grandes pièces. La ligne Horizon de comparateurs de laboratoire propose un éclairage puissant V-20B V-12B et fiable pour réaliser l’inspection et la mesure des profils et des surfaces.

Solutions associées Applications Différents projecteurs de profil sont disponibles : • Profils (pièces métalliques et en plastique) • V-20B (diamètre d’écran 500 mm) • Etats de surface • V-12B (diamètre d’écran 300 mm) • Autres caractéristiques d’aspect des pièces • Horizon 16E (écran de diamètre 400 mm, uniquement • Analyse des fissures et des faiblesses aux USA)

MF-1001/MF-501 Digimicro

Les comparateurs numériques MF-1001 et MF-501 permettent d’effectuer des mesures parfaites, par contact, des dimensions de l’épaisseur et de la profondeur. Ils peuvent respectivement mesurer des longueurs de 100 mm et 50 mm, avec une précision de 1 μm à 20°C. Les marbres peuvent être fournis en céramique, en acier ou en granit pour une meilleure stabilité. De nombreuses têtes de palpeurs sont également disponibles pour répondre à la plupart des applications.

Comparateur numérique MF-1001 Comparateur numérique MF-501

6B/6D Autocollimateurs

Les autocollimateurs de Nikon Metrology permettent de vérifier l’alignement et de mesurer de très petits écarts angulaires afin de mesurer la planéité ou la hauteur au moyen d’une géométrie simple. Les autocollimateurs à fond clair utilisent les optiques Nikon caractéristiques pour éclairer les détails de la surface.

Le produit compte de nombreuses applications, telles que le contrôle de planéité de surface, l’alignement de composants avec des surfaces réfléchissantes (par exemple la lentille de lecture d’un lecteur CD) ou encore les mesures associées aux machines-outils (par exemple la linéarité des autocollimateurs 6D/6B lors des déplacements de niveaux et d’angles de systèmes de mise au point).

29 MICROSCOPES INDUSTRIELS

En tant que leader mondial de la technologie de l’imagerie, Nikon fabrique des microscopes optiques et numériques complets pour répondre à toutes les applications.

MICROSCOPES STEREOSCOPIQUES

MICROSCOPES INDUSTRIELS

MICROSCOPE ELECTRONIQUE A BALAYAGE

LOGICIELS

30 MICROSCOPES INDUSTRIELS Gamme complète de stéréomicroscopes

UN BOND EN AVANT DANS LA STEREOMICROSCOPIE

Les SMZ25 et SMZ18 sont en train de révolutionner la stéréomicroscopie avec leurs plages de zoom exceptionnelles et leurs optiques modulaires, confortables et à hautes performances.

Ces nouveaux SMZ offrent de nombreuses fonctionnalités, allant des images stéréoscopiques de base d’une qualité sans égale à l’observation la plus sophistiquée.

Caractéristiques • Plus grande plage de zooms du monde (25 :1 pour le SMZ25) plus haute résolution de la gamme SMZ • Focus et zoom motorisés (SMZ25) • Images lumineuses grâce à l’éclairage par fluorescence comme avec les techniques conventionnelles d’éclairage • Base à LED DIA mince et facile à utiliser avec l’éclairage OCC (méthode d’éclairage oblique développée par Nikon)

Aiguille d’injection Carte de circuit imprimé (fond clair) Carte de circuit imprimé (fluorescence) Montre

Le SMZ1270/SMZ1270i est un stéréomicroscope avec le plus grand rapport de zoom de sa catégorie. Le SMZ800N excelle grâce à son optique renforcée et à son opérabilité.

Ces stéréomicroscopes permettent aux chercheurs de réaliser très facilement des images à fort grossissement, avec un grand taux de zoom et à haute définition.

SMZ800N Dans de nombreux domaines industriels, les chercheurs tirent profit de la clarté de ces images et de la facilité d’utilisation.

SMZ1270i SMZ745T La gamme complète de stéréomicroscopes Nikon couvre une large palette de fonctionnalités, de l’observation sophistiquée à l’observation ergonomique et abordable. Voici les modèles disponibles :

• SMZ 25/18 • SMZ 1270i/1270/800N • SMZ 745/745T • SMZ 445/460 • SMZ-2

31 Microscopes industriels Série Eclipse

A LA POINTE DE L’ INNOVATION OPTIQUE

Nikon Metrology propose une gamme complète de microscopes industriels pour de très nombreuses applications, du modèle de base aux systèmes sophistiqués destinés à l’inspection haut de gamme. La gamme Eclipse propose des microscopes optiques et numériques extrêmement polyvalents, performants et productifs, utilisables en n’importe quelle circonstance.

Les microscopes Eclipse LV100N sont très ergonomiques et Eclipse LV100ND Eclipse LV150N sont pourvus d’une optique de grande qualité. Les microscopes Eclipse de Nikon sont bien connus pour leurs capacités à fournir des images plus claires avec un très bon contraste. Le LV100N produit des images claires, est peu gourmand en énergie et dégage peu de chaleur, ce qui limite les risques de dérive focale liée à la chaleur. LV150N pour l’inspection industrielle Les microscopes Eclipses LV150 offrent des performances de pointe pour l’inspection des semi- conducteurs, des écrans plats, des encapsulages, des substrats électroniques, des matériaux, des appareils médicaux et de quantités d’autres pièces. L200N pour l’inspection des wafers et des grilles Eclipse L200N Eclipse L300N Associé au système optique CFI60 TU de Nikon et à un nouvel éclairage extraordinaire, ce microscope offre des images plus claires avec un très bon contraste. La série L200 convient parfaitement à l’inspection des wafers, des masques photographiques, des réticules et autres substrats. L300N pour l’inspection sans défaut d’écran LCD et de wafers de grande taille Configurés pour l’inspection des wafers et des grilles de 300 mm, les microscopes Eclipse L300 peuvent satisfaire les besoins pour l’inspection finale des écrans plats, y compris les écrans LCD.

MA100N Eclipse MA200 Les appareils L300 utilisent le système optique CFI60 de Nikon, breveté, à haute résolution, contraste et transmission.

Eclipse MA100N / MA200 microscope métallurgique inversé Le MA200 est un microscope métallurgique inversé, optimisé pour l’imagerie numérique et l’ergonomie. La conception exceptionnelle du carter permet un accès facile à l’échantillon sur le plateau et au porte objectif. Son encombrement au sol représente un tiers du modèle conventionnel. L’ Eclipse MA100N est un microscope inversé compact, développé pour l’observation fond clair et pour l’observation à polarisation simple.

Wafer loading system NWL200 NWL200 chargeur de wafers pour microscope d’inspection de circuits intégrés Le NWL200 peut charger des wafers de 100 microns d’épaisseur. Le nouveau système de chargement est très fiable et permet l’inspection des semi-conducteurs de nouvelle génération. Solutions associées • Concept modulaire et grand choix d’accessoires (illuminateurs, lentilles d’objectif, plaques, chargeurs de wafers) pour répondre aux exigences de l’inspection. • Plusieurs versions sont disponibles pour des inspections particulières (aptitude à la Caméras microscopes polarisation, utilisation en métallurgie). • Des tourelles motorisées et l’imagerie numérique sont également disponibles.

32 MICROSCOPES INDUSTRIELS BW Système de microscope interférométrique à lumière blanche

ULTRA HAUTE RESOLUTION VERTICALE DE 1 PICOMETRE

La gamme BW-S/D mesure rapidement et avec précision les profils de surface avec des hauteurs pouvant être inférieure au nanomètre jusqu’au millimètre. • Haute précision et répétabilité – calibré par un étalon selon les standards VLSI étagé de 8 nm ou 8 μm, certifié par le NIST • Image haute précision/haute vitesse - acquisition via un objectif interférométrique à deux faisceaux • Résolution verticale de 1 pm obtenue à des grossissements de 2,5x à 100x • Analyse en champ large grâce au stichting • Six modèles disponibles pour répondre aux différentes applications et budgets

Hauteur d’échelon standard : 8nm Wafer de silicium aplanie

NeoScope MEB de table CONVIVIALITE D’UNE CAMERA NUMERIQUE AVEC LE MICROSCOPE ELECTRONIQUE A BALAYAGE

Le JCM-6000 PLUS “NeoScopeTM”, est un microscope à balayage électronique de paillasse, multifonction à écran tactile, qui répond aux besoins de plus en plus divers des utilisateurs à travers le monde. Grâce à la haute résolution et à la profondeur de champ d’un puissant MEB, le NeoScope accélère la vitesse de l’analyse des ruptures sur les produits manufacturés. NeoScope MEB L’utilisation de base du NeoScope est simple avec des commandes de réglage automatique pour le focus, le contraste et la luminosité. Les échantillons peuvent être positionnés et observés en moins de trois minutes, sans nécessiter de préparation. Les fichiers de paramétrage pré-enregistrés (recettes) permettent à l’utilisateur de mettre en place rapidement et automatiquement le NeoScope pour une grande variété de matériaux. Le NeoScope peut travailler avec deux vides : en pression dégradée (40Pa) et Diatomées Mousse en pression poussée (10-2 Pa) et avec trois tensions d’accélération.

33 PRESENTATION DES LOGICIELS POUR LES APPAREILS

Logiciel NIS-Elements Le dispositif de contrôle et d’analyse, de visualisation et d’outils d’archivage NIS-Elements révolutionne les logiciels d’imagerie sur le marché de la microscopie en combinant l’intelligence automatisée à des caméras, des composants et des périphériques avec la capacité d’archivage et d’analyse. Son interface intuitive simplifie l’usage et accélère le temps d’acquisition d’images tout en offrant une gamme variée de fonctions, telles que l’assemblage d’images, le comptage d’objets et l’observation en 3D.

Logiciel AutoMeasure Logiciel standard convivial pour des mesures par vidéo Le logiciel AutoMeasure intègre un menu d’installation intuitif, une interface graphique personnalisable et un mode ingénieur / opérateur, le tout dans un environnement disponible en plusieurs langues.

Le logiciel AutoMeasure est compatible avec les sytèmes de mesure par vidéo iNEXIV VMA et NEXIV VMZ-R.

Automeasure Eyes (iNEXIV) Le logiciel Auto Measure Eyes permet un fonctionnement facile avec des programmes de mesure qui peuvent être créés en quelques clics seulement. Il dispose également de fonctionnalités de reporting complètes pour obtenir un rapport détaillé de la qualité du produit.

Logiciel de traitement des données E-Max Séries Mesure du champ de vision grâce à une technologie d’imagerie numérique de pointe Le nouveau logiciel E-MAX permet un traitement ultra moderne de l’image acceptant les mesures tous-usages pour une grande variété d’appareils de mesure manuels, y compris les microscopes de mesure et les projecteurs de profil.

CMM-Manager pour iNEXIV Augmentez vos capacités de mesure avec un système multi-capteurs Augmentez vos capacités de mesure en alliant la polyvalence du 3D tactile et la vitesse de la vidéo avec CMM-Manager, disponible avec l’équipement iNEXIV de Nikon. Avec CMM-Manager la programmation jusqu’au rapport n’a jamais été aussi intuitive et rapide. Notamment grâce à la définition de trajectoires automatiques sans collision, la simulation virtuelle des trajectoires et de la mesure précise des entités que ce soit en tactile ou en vision.

34 MICROSCOPES INDUSTRIELS

SERVICE CLIENT

Nikon Metrology propose des solutions en métrologie, certifiées ISO9001/2000 et UKAS, à des clients de tout premier plan du secteur industriel, sur un marché globalisé, en s’appuyant sur un réseau mondial d’experts en métrologie hautement qualifiés. Notre offre de services comprend l’assistance technique téléphonique, la formation, les programmes de maintenance, le rétrofit et la sous-traitance, afin de permettre à nos clients d’exploiter au mieux les solutions Nikon Metrology ou de résoudre leurs problèmes d’inspection dans le moins de temps possible.

ASSISTANCE TECHNIQUE TELEPHONIQUE • Le scanning laser s’applique à l’inspection de pièce par CAO ou Aide directe : nos techniciens utilisent leurs compétences pour résoudre vos l’ingénierie inverse. problèmes d’applications/de logiciels. • L’inspection par rayons X et Tomographie Numérique s’applique à l’industrie et à l’électronique. SÉMINAIRES / FORMATIONS À LA MÉTROLOGIE Base de connaissances – sur-site/hors-site, formations et séminaires sur les MODERNISATION ET RETROFIT matériels et logiciels de base, intermédiaires ou de pointe, animés par du Les MMTs installées peuvent être mises à jour avec un scanner de personnel possédant une expérience pratique des problèmes. Nikon Metrology et un logiciel innovant. Cela permet d’améliorer considérablement les performances d’inspection ainsi que le champ PROGRAMMATION d’application. Une gamme complète de scanners et de logiciels Assistance opérationnelle – des ingénieurs hautement qualifiés fournissent d’application sont disponibles pour répondre à vos besoins actuels leur expertise sur les programmes ou la programmation afin de vous et futurs. permettre de réduire vos coûts d’inspection des produits.

MAINTENANCE ET CALIBRATION Service technique – force de travail, technologie de pointe et logistique pour tirer le maximum des équipements en termes de fiabilité, temps de service et performance.

SOUS TRAITANCE DE L’INSPECTION Nikon Metrology propose une offre variée de sous-traitance de l’inspection. Cette offre inclut le challenge de la recherche du bon outil d’inspection pour le client. Pour couronner ses services d’assistance à l’inspection, Nikon Metrology a mis en place un réseau mondial très étendu de centres d’assistance: Nikon Metrology Service Centers, qui sont agréés par Nikon Metrology afin de réaliser les travaux d’inspection en sous-traitance.

• Le système d’inspection agréé UKAS, à température contrôlée, avec une précision inférieure au micron, offre la possibilité de mesurer les pièces de tous types et de toutes tailles.

35 Plus debureaux etderevendeurs surwww.nikonmetrology.com [email protected] Tél: +33160860976 NIKON METROLOGYSARL [email protected] Tél: +49602391733-0 NIKON METROLOGYGMBH [email protected] Tél: +32167401 NIKON METROLOGYEUROPENV [email protected] Tél: +3216740100Fax: +3216 740103 B-3001 Leuven, Belgium Geldenaaksebaan 329 NIKON METROLOGYNV [email protected] Tél: +52(442)6885067 NIKON MÉXICO-METROLOGYSHOWROOM [email protected] Tél: +441332811349 NIKON METROLOGYUKLTD. [email protected] Tél: +18102204360 NIKON METROLOGY, INC. www.nikon.com/products/industrial-metrology/ Tél: +81364333701Fax: +81-3-6433-3784 Minato-ku, Tokyo 108-6290Japan Shinagawa Intercity Tower C, 2-15-3, Konan, NIKON CORPORATION Tél: +91-124-4688500 NIKON INDIAPRIVATE LIMITED Tél: +66-2633-5100 NIKON SALES(THAILAND)CO., LTD. Tél: +82221868400 NIKON INSTRUMENTS KOREA CO. LTD. Tél: +60378093688 NIKON MALAYSIA SDN. BHD. Tél: +6565593651 NIKON SINGAPOREPTE. LTD. Tél: +862038820551(Guangzhoubranch) Tél: +861058312028(Beijingbranch) Tél: +862168412050(Shanghaibranch) NIKON INSTRUMENTS (SHANGHAI)CO. LTD. Industrial Metrology BusinessUnit for NIKON CORPORATION ISO 9001Certified for NIKON CORPORATION ISO 14001Certified

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